Dikloorisilaani (SiH2Cl2) on epäorgaaninen molekyyliyhdiste. Yhdistettä käytetään elektroniikkateollisuudessa piin ja piiyhdisteohutkalvojen valmistamiseen.
Ominaisuudet, valmistus ja käyttö Huoneenlämpötilassa dikloorisilaani on väritöntä kaasua. Kaasu voidaan nesteyttää. Dikloorisilaani reagoi veden kanssa, jolloin muodostuu piidioksidia, piidioksidin hydraatteja ja vetykloridia. Dikloorisilaani ärsyttää ihoa, silmiä ja hengitysteitä. Yhdisteelle altistumisesta voi seurata kurkkukipua, pääkipua, hengityksen vaikeutumista ja syövytysvammoja. Viitattu 18.9.2018.
Dikloorisilaania valmistetaan piin ja vetykloridin välisellä reaktiolla. Tässä reaktiossa syntyy seos tuotteita, joka sisältää dikloorisilaanin lisäksi muun muassa trikloorisilaania ja tetrakloorisilaania. Seos puhdistetaan tislaamalla.Barry Arkles: Silicon Compounds, Silanes, Kirk-Othmer Encyclopedia of Chemical Technology, John Wiley & Sons, New York, 2000 Viitattu 18.9.2018.Walter Simmler: Silicon Compounds, Inorganic, Ullmann's Encyclopedia of Industrial Chemistry, John Wiley & Sons, New York, 2000 Viitattu 18.9.2018 Toinen tapa on trikloorisilaanin disproportioituminen dikloorisilaaniksi ja tetrakloorisilaaniksi.
Dikloorisilaania käytetään elektroniikkateollisuudessa kasvatettaessa joko yksittäiskiteistä tai monikiteistä piitä. Lisäksi siitä valmistetaan elektroniikkateollisuuden tarpeisiin piidioksidi- ja piinitridiohutkalvoja.
Lähteet
Luokka:Piiyhdisteet